加熱装置 QHCシリーズ
Gold imagi furnace
QHCシリーズは赤外線ゴールドイメージ炉と高精度デジタル温度コントローラを組合せ、さらに石英製処理チャンパーをコンパクトに装備した高速加熱・冷却装置です。
特 長
高速加熱から低速加熱まで幅広い設定範囲をもち、多段ステップ加熱やサイクル加熱が試料を固定したままで簡単に行えます。 ガス冷却機構を標準装備し、加熱(一保持)後ガス導入により、急速ガスクェンチ、クーリングコントロールが手軽に行えます。 オプションの真空排気セットを付加することにより、真空中、各種ガス中、ガスフロー中の加熱も可能です。
赤外線ランプ加熱装置 QHCシリーズ 仕様 | |||
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型 式 | QHC-E410 | QHC-P610 | QHC-P616 |
最高到達温度 | 1400℃ | 1200℃ | 1200℃ |
常用使用温度 | 1000℃ | 1000℃ | 1000℃ |
加熱方式 | 赤外線楕円面反射集光式 | 赤外線放物面反射集光式 | |
熱処理ゾーン | Φ15×L100mm | Φ50×L100mm | Φ50×L150mm |
均熱ゾーン | Φ10×L80mm | Φ40×L80mm | Φ40×L120mm |
冷却方式 | チャンバー内石英ノズル、ガス吹付方式 | ||
熱処理チャンバー | 石英管Φ50mm | 石英管Φ98mm | |
ガスコントローラ | 標準装備 | ||
温度プログラムユニット | TPCシリーズ | ||
電 源 | AC200VΦ10kVA AC100V10A |
AC200VΦ15kVA AC100V10A |
AC200VΦ20kVA AC100V10A |
冷却水 | 8L/MIN(0.2Mpa)以上 | 10L/MIN(0.2Mpa)以上 | 12L/MIN(0.2Mpa)以上 |
用 途 | 各種材料の基礎研究用雰囲気アニール、
ガスクェンチ熱処理 熱サイクル試験、熱衝撃試験、半導体材料の焼成、アニール条件の検討 2インチウエハ研究用アニール炉、超伝導材料の02量制御雰囲気での熱処理 各種材料の熱処理シュミレータ炉 |
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価格(円) | お問い合わせ |